流量校準(zhǔn)設(shè)備產(chǎn)品概述

• 原理：層流原理
• 流量校準(zhǔn)范圍：1SCCM-5000SLPM
• 該流量校準(zhǔn)系統(tǒng)流程：氣瓶-減壓閥-穩(wěn)壓閥-截止閥-標(biāo)準(zhǔn)流量測(cè)量元件（molbloc）-被校準(zhǔn)對(duì)象-流量測(cè)量主機(jī)（molbox）。
• 校準(zhǔn)對(duì)象：質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、轉(zhuǎn)子流量計(jì)等
• 校準(zhǔn)精度：0.5%，0.2%和0.125%可選

流量校準(zhǔn)設(shè)備測(cè)量元件介紹

型號(hào)：molbloc-L&molbloc-S

molbloc 流量元件通過(guò)兩個(gè)壓力連接件和一根數(shù)據(jù)線連接到 molbox RFM 上。molbox RFM 從 molbloc EEPROM 讀取校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，并利用其內(nèi)置的高精度參考?jí)毫鞲衅?/span> (RPT) 測(cè)量 molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測(cè)量系統(tǒng)讀取 molbloc 鉑電阻測(cè)溫儀的電阻，然后由此計(jì)算 molbloc 溫度。利用存儲(chǔ)在 molbox RFM 內(nèi)存中的 molbloc 校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、壓力、溫度和氣體屬性，可計(jì)算出通過(guò) molbloc 的氣流流速。對(duì)于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下時(shí)，可以選擇微量程選項(xiàng)來(lái)提高流量測(cè)量分辨度和精確度。

特點(diǎn)

·         結(jié)構(gòu)緊湊

·         molbloc-L 覆蓋的流量量程從 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆蓋的流量上限更是達(dá)到了 5000 slm

·         從 20 種不同的氣體中選擇

·         利用 100:1 可調(diào)性實(shí)現(xiàn)認(rèn)證的測(cè)量不確定度 ±0.5% 讀數(shù)（連接molbox RFM）

·         內(nèi)部閥門(mén)，可實(shí)現(xiàn)內(nèi)置的清洗、泄漏測(cè)試和自重支持

·         包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高級(jí)測(cè)量函數(shù)

·         完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 遠(yuǎn)程通信

·         利用可由用戶設(shè)置的參考?jí)毫蜏囟葼顟B(tài)，測(cè)量質(zhì)量和體積流量

測(cè)量主機(jī)介紹

功能：可以用來(lái)控制質(zhì)量流量控制器，設(shè)定氣體種類(lèi)，轉(zhuǎn)換系數(shù)，顯示流量測(cè)量元件的流量值，可連接PC，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化流量校準(zhǔn)功能。

主要型號(hào)：molbox RFM，molbox 1，molbox 1 （molbox1升級(jí)版）

精度：molbox RFM：0.5%讀數(shù)，molbox1，0.2%讀數(shù)，可選0.125%讀數(shù)

的不確定度參數(shù)

molbox1 的創(chuàng)新性讓 molbloc/ molbox1 系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了行業(yè)內(nèi)極低的氣流測(cè)量不確定度。多個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)的改善讓更低的不確定度成為可能，包括：

·         使用福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部專(zhuān)有的石英參考級(jí)壓力傳感器 (Q-RPT) 技術(shù)來(lái)精確測(cè)量絕壓和差壓。molbox1 Q-RPT 是根據(jù)福祿克計(jì)量的校準(zhǔn)部壓力傳輸標(biāo)準(zhǔn)在相同技術(shù)下專(zhuān)門(mén)定做的傳感器。

·         高級(jí) molbloc 校準(zhǔn)作業(yè)能夠使 molbloc 流量輸出線性化，從而更好地獲取準(zhǔn)確度和可溯源性。

·         擴(kuò)展 molbloc 模式化可提高 molbloc-L 層流元件在工作壓力量程內(nèi)的性能。

·         利用 NIST 參考液體熱動(dòng)力與輸送屬性數(shù)據(jù)庫(kù) (REFPROP) 來(lái)降低氣體屬性的不確定度。

·         使用福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的動(dòng)態(tài)重力流量標(biāo)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行基礎(chǔ)質(zhì)量與時(shí)間質(zhì)量流量測(cè)量，并以此基礎(chǔ)不斷改善福祿克計(jì)量校準(zhǔn)部的 molbloc 校準(zhǔn)鏈。